电阻式蒸发镀膜机照片
设备名称
电阻式蒸发镀膜机
设备简介
该设备用于真空蒸发镀光学薄膜、有机物薄膜和金属薄膜。
技术参数
1.真空室：400*400*450mm方箱形；
2.最大可镀工件直径：φ120mm，；
3.样品台可旋转0-60转/分可调，蒸发距离250~350mm连续可调，样品台配独立挡板；
4.样品加热系统，温度最高可达600℃，外加一套水冷样品台；
5.极限真空度：优于6.67*10-5Pa;
6.抽气时间：大气压~8*10-4Pa小于30min；
7.蒸发：4套蒸发源配3套2KW电源（其中一套可切换），
8.开启方式：前面开启门设计，便于换丝及装料；
9.真空系统：机械泵+分子泵；
10.膜厚测量仪
