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探针台设备简介(光电信息大楼A310室)

作者: 时间:2020-10-19 点击数:

设备名称

  MPS150模块化探针台

设备简介

   探针台系统最大可负载155mm晶圆(六英寸晶圆),适用于 RF、毫米波、亚太赫兹 (sub-THz) 特性分析、FADWCMEMS、光电测试和 WL等多种应用。

技术参数

载物台座技术参数:

行程:155mm*155mm

分辨率:5μm

③ 150mm平面平面度:<10μm

④ Y向装载行程:90mm

⑤ Z向高度行程:10mm

⑥ Z向接触/分离/负载行程:0-3mm可调

RF晶圆载物台技术参数:

直径:150mm 配备双AUX载物台

材料:HF/OPTO表面不锈钢(0.7mm真空孔)

③ DUT尺寸适用:最小值3*5mm,晶圆形态为1英寸-6英寸

真空孔组:22mm42mm66mm88mm110mm132mm

表面平面度:<±3μm

坚固度:<15μm/10N @ 边缘

RPP210探针座技术参数:

探针应用:Infinity/ACP/ Z探针系列RF探针

特征分辨率:<1μm

行程(X/Y/Z):12.5mm/12.5mm/12.5mm

固定方式:真空/磁吸

底座尺寸:90mm*60mm

RPP404探针座技术参数:

探针应用:Infinity/ACP/ Z探针//T-Wave系列RF探针

适用频率:110GHz或更低

行程(X/Y/Z):12mm/12mm/12mm

固定方式:螺栓固定

底座尺寸:90mm*60mm

SlimVue显微镜技术参数:

放大比率:3.3x

目镜放大倍率:10x

装备10x物镜后放大倍率:100x-330x

瞳距:55mm-75mm

对焦单元行程:±25mm




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