| 学校首页 | 中文版 | English

光学与电子信息学院大型仪器共享平台简介

作者:熊炫 时间:2020-03-31 点击数:

华中科技大学光学与电子信息学院大型仪器共享平台位于光电信息大楼A栋3楼,始建于2016年3月,于2017年5月全面对外开放。

平台使用总面积约400多平方米,建有完善的动力和安全保障系统。拥有PLD、光刻机、磁控溅射机、等离子刻蚀机、真空蒸发镀膜机、引线键合机等多台工艺设备,另有X射线衍射仪、原子力显微镜、场发射扫描电子显微镜、微波信号源(矢量)、可编程光滤波器、超高精度相位噪声测量系统及分析装置、半导体器件分析仪、探针台、等近20台测试设备;平台可开展光电子器件、半导体器件、电子材料的工艺研究和检测工作。

共享平台的宗旨:快速响应、高效服务、培养人才、满足需求;为提升我国的光电子、微电子研究的科技水平贡献力量。

华中科技大学  光学与电子信息学院  联系电话:027-87558726  邮编:430074 地址:中国•湖北省武汉市珞喻路1037号 华中科技大学东校区新光电信息大楼C6