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陈蓉

作者: 时间:2017-03-08 点击数:

姓 名:陈蓉

职称:兼职双聘教授,青年千人

专业方向:微电子学系

个人简介:

电话:027-87558744

职称:教授

邮箱:rongchen@mail.hust.edu.cn

陈蓉,女,1978年8月生,教授、博士生导师。中国科学技术大学获得学士学位,美国斯坦福大学获得硕士、博士学位。曾在美国应用材料公司及英特尔研究院担任高级技术职务。国家“青年千人计划”、“中青年科技创新领军人才计划”入选者,国家重大科学研究计划(973)青年科学家专题项目首席科学家,教育部“新世纪优秀人才支持计划”入选者,湖北省“杰出青年基金”获得者,湖北省特聘专家,华中科技大学柔性电子研究中心副主任

主持国家自然科学基金项目。围绕着原子层沉积、纳米颗粒制备、薄膜工艺与设备开发,承担了多项新能源与微电子相关项目的研究,是选择性原子层沉积技术的先驱者之一。在Adv Mater, EES, ACS Nano等国际知名期刊上发表论文50余篇;微纳制造领域发明专利近40余项,并包括5项美国专利,3项国际专利;主编撰写“十二.五”重点出版物,参与撰写Springer英文纳米系列丛书;在相关领域的国际学术会议作特邀报告等50余次。 任中国硅酸盐学会薄膜与涂层分会理事,中国机械工程学会高级会员,中国真空学会高级会员,PM2.5污染治理示范工程研讨组成员,国际电子工程学会(IEEE)、美国电化学学会(ECS)、化学学会(ACS)、真空学会(AVS)、材料学会(MRS)、物理学会(APS)等多个学会会员;应邀担任国家科技奖、国际科技合作、国家自然科学基金等国家级,教育部博士点基金、湖北省科技计划、湖北省国际合作项目、江苏省双创计划、浙江省千人计划等省部级科技项目评审专家,同时担任美国NSF基金、荷兰STW基金、美国劳伦斯-伯克利国家实验室开放基金、曾担任英特尔风险投资部门纳米材料及新能源技术顾问及学术基金部门顾问;担任Nature子刊Scientific Reports编委,Appl. Phys. Lett., J. Appl. Phys., ACS Nano, Chem. Mater., J. Phys.Chem., Langmuir, Appl. Surf. Sci.等期刊审稿人、Elsevier出版社书本计划审稿人等。

主要社会兼职包括中国人民政治协商会议湖北省第十一届委员会委员,千人计划专家联谊会ICT专委会副主任、会员代表,武汉市侨联第十届委员会顾问,湖北省预算绩效管理监督员,湖北省回国科技人员创业促进会会员等。

主要研究方向

1.原子层沉积技术与装备

2.柔性电子制造薄膜生长工艺与装备

3.机动车尾气净化技术

4.能源、电子领域的纳米器件开发。

开设课程

本科生课程:《Introduction of Nanotechnology》24/32, 公选课《生活中的纳米技术》16/32

研究生课程:《thin film technology》32/32

博士生课程:《先进制造工程学》4/64

近年的科研项目、专著与论文、专利、获奖

在研基金:

2013-2017“高效金属-氧化物复合催化剂的理性设计与性能调控”, 973国家重大科学研究计划 (2013CB934800) 青年项目,500万,首席科学家

2016-2019 “面向柔性电子制造的空间隔离原子层沉积系统基础研究”,国家自然科学基金面上项目(51575217),79.2万,负责人

2015-2017 “微纳米颗粒原子层包覆关键技术与装备研究”,湖北省自然科学基金杰出青年基金(2015CFA034),40万,负责人

2014-2016 “微纳制造与纳米测量技术”教育部“创新团队发展计划”(IRT13017),300 万,骨干成员

2015-2016 “通过ALD实现原子尺度调控的多界面催化剂研究”,数字制造装备与技术国家重点实验室自主课题(0225100063)重点项目,30万,负责人

荣誉与奖励:

2016 第44届日内瓦国际发明展金奖及泰国国家研究评议会国际发明特别优异奖

2015 中青年科技创新领军人才

2015 论文入选《科学报告》年度引用数前一百

2013 华中科技大学2013年度“十佳青年”

2012 湖北省特聘专家

2012 中国人民政治协商会议湖北省第十一届委员会委员

2012 湖北省特聘专家

2011 中国共产党中央委员会组织部首批“青年千人计划”

2010 英特尔研究院电路与系统研究部门奖

2009 中华人民共和国教育部“新世纪优秀人才支持计划”

2008 Frost & Sullivan北美先进海量存储芯片方案技术创新奖

2008 AlwaysOn 全球250入选杰出团队

2008 美国英特尔公司加利福尼亚技术制造部门奖

2007 美国应用材料公司团队杰出贡献奖

2006 半导体研究协会Simon Karecki奖(用于表彰为环境科学创新做出杰出贡献的青年研究工作者, 每年全国仅1人获奖,2人获入围奖)

2004 德州仪器微电子领域女性领袖奖(奖励在半导体研究中作出突出贡献的女性科技工作者)

2003 国际Flory新型材料大会最佳科研海报展示奖

代表性著作:

1.Kun Cao, Qianqian Zhu, Bin Shan*, Rong Chen* “ControlledSynthesis of Pd/Pt Core Shell Nanoparticles Using Area-selective Atomic LayerDeposition” Sci. Rep. 2015, 5, 8470.

2.Bin Huang, Wenjuan Yang, Yanwei Wen, Bin Shan*, RongChen* “Co3O4 Modified TiO2 Nanotube Arrays via Atomic Layer Deposition for ImprovedVisible-Light Photoelectrochemical Performance” ACS Appl. Mater. Inter. 2015, 7(1), 422.

3.Kun Cao, Xiao Liu, Qianqian Zhu, Bin Shan*, Rong Chen*“Atomically controllable Pd@Pt core shell nanoparticles towards PROX'sreactions modulated by Pt shell thickness” ChemCatChem 2016, 8, 326.

4.Chen-Long Duan, Xiao Liu, Bin Shan, and Rong Chen* “Fluidizedbed coupled rotary reactor for nanoparticles coating via atomic layerdeposition” Rev. Sci. Instrum. 2015, 86, 075101.

5.Chen-Long Duan, Zhang Deng, Kun Cao, Hong-Feng Yin, BinShan, Rong Chen* “Surface passivation of Fe3O4 nanoparticles with Al2O3 viaatomic layer deposition in a rotating fluidized bed reactor” J. Vac. Sci.Technol. A 2016, 34, 04C103.

6.Wen-jie He, Hai-tao Zhang*, Zhiyong Chen, Bo Chu, KunCao, Bin Shan, Rong Chen* “Generalized Predictive Control of Temperature on anAtomic Layer Deposition Reactor” IEEE Trans. Contr. Sys. Tech. 2015, 23(6),2408.

7.Wen-Jie He, Hai-Tao Zhang, Zhiyong Chen, Ji-Long Lin, KanTian, Bin Shan, Rong Chen* “Temperature Control for Nano-Scale Films by Spatially-SeparatedAtomic Layer Deposition based on Generalized Predictive Control” IEEE Trans. Nanotechnol2015, 14(6), 1094.

8.Zhang Deng, Wenjie He, Chenlong Duan, Rong Chen*, BinShan “Mechanistic modeling study on process optimization and precursorutilization with atmospheric spatial atomic layer deposition” J. Vac. Sci.Technol. A 2016, 34(1), 01A108.

9.Zhang Deng, Wenjie He, Chenlong Duan, Bin Shan, Rong Chen*“Atomic layer deposition process optimization by computational fluid dynamics” Vacuum2016, 123, 103.

10.Bin Huang, Kun Cao, Xiao Liu, Lihua Qian, Bin Shan*, RongChen* “Tuning the morphology and composition of ultrathin cobalt oxide film viaatomic layer deposition” RSC Adv. 2015, 5, 71816.

11.Zhengzheng Chen, Xiao Liu, Kyeongjae Cho, Rong Chen*, BinShan* “Density Functional Theory Study of the Oxygen Chemistry and NO OxidationMechanism on Low-Index Surfaces of SmMn2O5 Mullite” ACS Catal. 2015, 5, 4913.

12.Stephanie L. Candelaria, Rong Chen, Yoon-Ha Jeong,Guozhong Cao, “Highly porous chemically modified carbon cryogels and theircoherent nanocomposites for energy applications”, Energy Environ. Sci. 2012, 5,5619.

13.Rong Chen, Zhengzheng Chen, Bo Ma, Xiaohong Hao, NeetiKapur, Jangsuk Hyun, Kyeongjae Cho, Bin Shan, “CO adsorption on Pt(111) andPd(111) surfaces: a first-principles based lattice gas Monte-Carlo study”,Comp. Theo. Chem. 2012, 987, 77.

14.Noureddine Tayebi, Yuegang Zhang, Robert J. Chen, QuanTran, Rong Chen, Yoshio Nishi, Qing Ma, Valluri Rao, “An ultraclean tip-wearreduction scheme for ultrahigh density scanning probe-based data storage”, ACSNano 2010, 4 (10), 5713.

15.Rong Chen,Stacey F. Bent, “Chemistry for positive pattern transfer by area-selectiveatomic layer deposition” Adv. Mater. 2006, 18, 1086.

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